Для цитирования:

Беликов А.В., Клочков И.С., Алексеев И.В., Капралов С.А. Исследование силиконовой пленки, осажденной на поверхность кварцевого стекла под действием лазерного излучения. Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики. 2022;22(1):1-9. https://doi.org/10.17586/2226-1494-2022-22-1-1-9

For citation:

Belikov A.V., Klochkov I.S., Alekseev I.V., Kapralov S.A. A study of a silicone film deposited on quartz glass under laser radiation. Scientific and Technical Journal of Information Technologies, Mechanics and Optics. 2022;22(1):1-9. (In Russ.) https://doi.org/10.17586/2226-1494-2022-22-1-1-9