Для цитирования:

Девицкий О.В. Особенности импульсного лазерного напыления тонких пленок InGaAsN в атмосфере активного фонового газа. Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики. 2022;22(6):1085-1091. https://doi.org/10.17586/2226-1494-2022-22-6-1085-1091

For citation:

Devitsky O.V. Peculiarities of pulsed laser deposition of thin InGaAsN films in an active background gas atmosphere. Scientific and Technical Journal of Information Technologies, Mechanics and Optics. 2022;22(6):1085-1091. (In Russ.) https://doi.org/10.17586/2226-1494-2022-22-6-1085-1091