Для цитирования:

Каранин Н.С. Исследование геометрических параметров кремниевых структур в приборном слое при изготовлении чувствительных элементов микромеханических акселерометров. Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики. 2025;25(2):236-242. https://doi.org/10.17586/2226-1494-2025-25-2-236-242

For citation:

Karanin N.S. Investigation of geometric parameters of silicon structures in device layer during manufacture of sensitive elements of micromechanical accelerometers. Scientific and Technical Journal of Information Technologies, Mechanics and Optics. 2025;25(2):236-242. (In Russ.) https://doi.org/10.17586/2226-1494-2025-25-2-236-242