Для цитирования:

Ту Х.К. Построение технологических окон с дефокусированным разрешением при наносекундном лазерном облучении окисленного кремния. Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики. 2026;26(1):15-25. https://doi.org/10.17586/2226-1494-2026-26-1-15-25

For citation:

Tu H.C. Defocus-resolved construction of process windows in nanosecond laser irradiation of oxidized silicon. Scientific and Technical Journal of Information Technologies, Mechanics and Optics. 2026;26(1):15-25. https://doi.org/10.17586/2226-1494-2026-26-1-15-25