Для цитирования:

Вторушин С.Е., Таловская А.А., Барбин Е.С., Кулинич И.В., Вайсбеккер М.С. Оптимизации конструкции резонансно-частотного МЭМС датчика давления на основе численного моделирования. Научно-технический вестник информационных технологий, механики и оптики. 2025;25(6):1067-1079. https://doi.org/10.17586/2226-1494-2025-25-6-1067-1079

For citation:

Vtorushin S.E., Talovskaia A.A., Barbin E.S., Kulinich I.V., Vaisbekker M.S. Optimization of the resonant frequency MEMS pressure sensor based on numerical simulation. Scientific and Technical Journal of Information Technologies, Mechanics and Optics. 2025;25(6):1067-1079. (In Russ.) https://doi.org/10.17586/2226-1494-2025-25-6-1067-1079